Prof. Dr. Christian Motzek
Persönliche Daten
Abteilung / Funktion / Ausstattung an der FHWS
Einordnung in DFG Systematik der Fächer
Forschungsaktivität
Publikationen
K. Motzek, S. Partel, A. Bramati, U. Hofmann, N. Ünal, M. Hennemeyer, M. Hornung, A. Heindl, M. Ruhland, A. Erdmann, P. Hudek, "Mask aligner lithography simulation–From lithography simulation to process validation", Microelectron. Eng. 98, 121